工业超纯水设备_EDI超纯水系统
RO+EDI+UV三级工艺,电阻率稳定≥18.2MΩ·cm,符合GB/T 11446.1标准——康澈承诺:达标交付,不达标免费整改。
产品总述
超纯水设备是半导体、PCB、光电显示、光伏、锂电池、电镀等行业生产线的核心配套装置,用于提供电阻率≥18.2MΩ·cm的高纯度工艺用水。水质波动直接影响晶圆清洗效果、线路板良品率与镀层质量。
康澈超纯水设备采用"预处理+双级RO反渗透+EDI电去离子+紫外线杀菌"三级深度工艺,出水电阻率稳定≥18.2MΩ·cm、TOC≤0.5μg/L,符合GB/T 11446.1电子级水标准。近30年超纯水设备制造经验、500+工程案例,从水质检测、工艺设计到安装验证,全部由康澈工程师一站式完成。
整套工艺流程(水路总图)
康澈超纯水系统采用"预处理+初级除盐+抛光精处理"三级工艺架构,每一级均有明确的水质目标和技术手段,确保终端产水达到GB/T 11446.1电子级超纯水标准。
超纯水生产系统完整工艺流程图(18+个处理工艺环节,8次增压提升)
整套工艺流程
原水箱 → 多介质过滤器 → 活性炭过滤器 → 精密过滤器 → 一级高压泵 → 一级RO主机 → 二级高压泵 → 二级RO主机 → 中间水箱 → EDI系统 → 紫外线杀菌器 → 抛光混床(可选) → 超纯水箱 → 用水点
其中,多介质与活性炭过滤属于预处理系统,负责去除悬浮物、余氯与有机物,保护后级膜元件;RO反渗透系统去除98%以上的离子与微生物;EDI系统深度除盐,使出水电阻率达到18.2MΩ·cm;末端紫外线消毒器杀灭残余细菌并降解部分TOC。
| 工艺阶段 | 核心单元 | 作用 | 出水指标 |
|---|---|---|---|
| 预处理 | 多介质+活性炭+精密过滤 | 除悬浮物、余氯、有机物,保护RO膜 | SDI≤5,余氯≤0.1mg/L |
| 初级除盐 | 双级RO反渗透 | 去除98%以上溶解盐与微生物 | 电导率≤2μS/cm |
| 深度除盐 | EDI电去离子 | 连续产出高电阻率纯水 | 电阻率≥15MΩ·cm |
| 精处理 | UV杀菌+抛光混床(可选) | 灭菌、降TOC、进一步提升电阻率 | 电阻率≥18.2MΩ·cm,TOC≤0.5μg/L |
设备工作原理
第一级:预处理
通过石英砂、活性炭与5μm精密滤芯逐级截留泥沙、胶体、余氯,把污染指数(SDI)降到RO膜允许的进水范围。
第二级:反渗透
在高压泵驱动下,水分子逆渗透通过0.0001μm的RO膜,离子、有机物、细菌被截留排放,产水进入中间水箱。
第三级:EDI
在电场作用下,残余离子经离子交换膜迁移至浓水室排出,同时水解离持续再生树脂,无需酸碱化学再生,连续稳定产出超纯水。
末端精处理
254nm紫外线杀灭细菌,必要时加装185nm紫外与抛光混床,把TOC与微量离子压到极限值。
核心优势与产品卖点
| 优势 | 给客户的好处 |
|---|---|
| 稳定18.2MΩ·cm | 双级RO+EDI组合工艺,水质波动小,连续运行电阻率稳定在18.2MΩ·cm,良品率有保障 |
| 免酸碱再生 | EDI电再生工艺,不用酸碱、无废液排放,运行安全,环保检查无压力 |
| 全自动运行 | PLC+触摸屏控制,缺水、低压、满水、水质超标多重保护与报警,无需专人值守 |
| 模块化设计 | 0.5-100吨/小时全规格,后期扩产只需叠加膜块与EDI模块,不推倒重来 |
| 耗材自供更省钱 | RO膜、EDI模块、滤芯、UV灯管由康澈耗材线直供,正品低价,更换有指导 |
详细技术参数表
| 参数项 | 指标 |
|---|---|
| 出水电阻率 | ≥18.2MΩ·cm(25℃) |
| TOC | ≤0.5μg/L |
| 颗粒物(≥0.2μm) | ≤1个/mL |
| 微生物 | ≤1CFU/mL |
| 二氧化硅 | ≤5μg/L |
| 产水量 | 0.5-100吨/小时(可定制) |
| 水回收率 | 60%-85%(按工艺配置) |
| 控制方式 | PLC全自动+触摸屏 |
规格型号一览表
| 型号 | 产水量 | 适用场景 |
|---|---|---|
| KC-UPW-0.5 | 0.5吨/小时 | 实验室、小批量产线 |
| KC-UPW-1/2 | 1-2吨/小时 | 精密清洗、光电、PCB |
| KC-UPW-5/10 | 5-10吨/小时 | 电子厂、锂电池、电镀线 |
| KC-UPW-20/50 | 20-50吨/小时 | 中大型电子、光伏企业 |
| KC-UPW-100 | 100吨/小时 | 大型基地集中供水(定制) |
注:以上型号产水量、配置均可按实际需求定制。
行业应用场景
| 行业 | 用水点 | 超纯水设备的价值 |
|---|---|---|
| 半导体/晶圆 | 晶圆清洗、蚀刻配液 | 18.2MΩ超纯水杜绝离子残留,守住良率 |
| PCB线路板 | 显影、电镀、终洗 | 低离子水避免板面离子污染与短路 |
| 光电显示 | 玻璃基板超声波清洗 | 无颗粒、无水印,提升面板良品率 |
| 光伏电池 | 硅片清洗、制绒 | 稳定水质保障转换效率一致性 |
| 锂电池 | 正负极材料、电芯清洗 | 低金属离子,保障电池安全与寿命 |
| 电镀表面处理 | 镀液配制、工件清洗 | 减少杂质带入,镀层更均匀光亮 |
精准选型指南
第一步,定水质:明确需要纯化水、高纯水还是18.2MΩ超纯水,水质标准决定工艺段数与造价。
第二步,测原水:自来水、地下水差异大,康澈提供免费水质检测,按报告定预处理方案【预约检测】。
第三步,算水量:按每小时峰值用水量×1.2倍安全系数核定吨位。
第四步,看长期账:把设备价、耗材费、水电费、停机损失一起算,康澈工程师免费提供全生命周期成本测算与选型报价。
工程案例
以下为康澈超纯水设备代表性项目(客户名称脱敏处理):
原水为市政自来水,采用双级RO+EDI工艺,出水电阻率稳定18.2MΩ·cm,替代原有混床系统后免去酸碱再生,年运行费用下降约20%,已连续稳定运行3年。更多案例见工程案例页。
常见问题FAQ
问:超纯水设备多少钱一套?
价格由产水量、水质标准与工艺配置决定,1吨/小时与10吨/小时价差明显,单级RO+EDI与双级RO+EDI也不同。把用水需求发给康澈工程师,当天出具配置清单与明细报价【获取报价】。
问:EDI和抛光混床怎么选?
EDI连续运行、免酸碱再生,适合长期稳定生产;混床投资低但需再生,适合小水量或备用。康澈通常推荐EDI为主、抛光混床作末端保障的组合。
问:超纯水电阻率为什么会下降?
常见原因是预处理失效、RO膜污堵或EDI模块结垢。按康澈保养计划定期更换预处理滤料、清洗RO膜,水质可长期稳定;康澈提供终身技术指导与耗材供应【查看耗材】。
问:设备运行成本高吗?
主要成本是电耗与耗材。康澈超纯水设备采用节能泵组与高回收率设计,配合自供耗材,吨水综合成本比行业平均水平更低,可索取测算表。
设备日常维护保养方案
| 维护项目 | 维护周期 | 维护内容 |
|---|---|---|
| 预处理滤料 | 每6-12个月 | 更换石英砂、活性炭,防止预处理失效 |
| RO膜 | 每6-12个月清洗,2-3年更换 | 化学清洗恢复通量,脱盐率下降明显时更换 |
| EDI模块 | 每年检查 | 检查结垢情况,监测产水电阻率变化 |
| UV灯管 | 每8000-9000小时 | 更换灯管,清洁石英套管 |
以上耗材康澈全部现货供应【查看耗材】,并提供免费更换指导。
为什么选择康澈净水
三十年水处理行业积淀
深耕水处理行业近30年,精通各类原水工况、水处理工艺体系,具备丰富工业水处理项目落地经验。
专业定制化方案设计
依托成熟水处理技术储备,聚焦超纯水系统方案规划,根据原水水质、行业用水标准、场地条件量身设计整套解决方案。
产业链协同,严控整套系统品质
整合优质上下游供应链资源,统一标准选型、出厂水质核验,整套系统工艺分层管控,保障出水指标长期稳定达标。
全周期一站式技术服务
全程负责方案对接、设备调试、耗材配套与运维支持,7×24小时技术响应,解决项目后期运行后顾之忧。